2000-3000元/次
溅射室真空度极限≤6.7*10-5Pa; 弧源稳定起弧电流:80-120A; 线性离子源尺寸:400*145*45mm; 离子源间隙宽度:4mm; 最大功率:300W
陶瓷材料表面制备增强、增韧膜层进行表面处理。
技术指导下自行进行试验
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