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示例

3D表面光学轮廓仪（Zygo 9000）新

  • 型号规格：rms重复精度0.008nm；扫描范围150微米；NewView9000
  • 仪器类别：分析仪器
  • 仪器原值：110.78万元
  • 所属单位：大连理工大学
  • 生产厂商：ZYGO Corporation
  • 产地国别：美国
  • 启用日期：2021-04-21
  • 仪器所在地区：大连市
  • 仪器安放地址：辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
浏览量：965
仪器详情 仪器定位
仪器服务信息
  • 联 系 人：刘洋
  • 联系电话：18525467090
  • 电子邮箱：sysk@dlut.edu.cn
收费标准

参照学校共享平台要求

技术指标

横向分辨率：0.34μm RMS的重复分辨率：0.008nm 最大扫描深度：150μm(精密压电驱动) 最大测定高 ：89mm

主要功能

美国ZYGO公司NewView9000型3D表面形貌仪，采用白光干涉的原理对高精度的工作表面进行三维几何形貌检测。采用气浮式工作台，可定性及定量地测量表面的粗糙度、波纹度、平整度、台阶高度等，具有拼接及微观几何形状误差分析功能。

服务内容

开放共享

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