"放大倍率：内置集成可调焦彩色光学显微镜（非CCD相机或摄像头），光学放大27倍，具备明场、暗场相，电子放大150,000倍
分辨率：优于10nm@10kV
加速电压：5kv、10kV
灯丝材料：采用CeB6/LaB6或者场发射灯丝，单根灯丝寿命不低于1400工作小时。
抽真空时间小于15s；从载入样品到成形貌电子图像整体时间优于30s。
真空技术：有真空分级技术,低真空观测灯丝寿命不受影响，
真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵
样品台移动控制方式：全自动马达样品台控制，配合样品光学、电子双重导航，实现鼠标点到哪看到哪。
检测信号：高灵敏度背散射电子探测器，二次电子探测器；
离子溅射：玻璃处理室：直径100毫米、高度130毫米；试样台尺寸：直径40毫米可同时放6个样品杯；金靶规格：直径58毫米；真空系统：直联旋片真空泵1升/秒；真空检测：皮氏计；真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空；工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气，专用进气口和微量充气节
"
.jpg)
