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示例

28SUSS PM8探针台

  • 型号规格：150COAX--200
  • 仪器类别：工艺试验仪器
  • 仪器原值：75.1万元
  • 所属单位：中国科学院沈阳自动化研究所
  • 生产厂商：ESP
  • 产地国别：中国
  • 启用日期：2020-11-24
  • 仪器所在地区：沈阳市
  • 仪器安放地址：创新路135号
浏览量：105
仪器详情
仪器服务信息
  • 联 系 人：钟华
  • 联系电话：15140234571
  • 电子邮箱：hzhong@sia.cn
收费标准

3000元/项目

技术指标

主载物台：晶圆尺寸 25mm（1英寸）至200mm（8英寸）；分辨率：分辨率为5 μm；平整度：≤ 10 μm；Y轴取放片行程：90 mm；手动载物台Z

主要功能

探针台主要用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，缩减研发时间和器件制造工艺的成本，具备完整的直流测试功能，后续可扩展为射频，光电以及可靠性测试。

服务内容

探针台主要用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，缩减研发时间和器件制造工艺的成本，具备完整的直流测试功能，后续可扩展为射频，光电以及可靠性测试。

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