1、点分辨率:≤0.19 nm 2、线分辨率:≤0.102 nm 3、加速电压: 80, 100, 120, 160, 200 kV (100 V/步可调) 4、加速电压稳定度:≤2ppm/min (峰峰值) 5、物镜最小聚焦步长:≤ 1.8nm 6、物镜球差系数:≤1.2mm 7、色差系数:≤1.4mm 8、最小束斑尺寸:透射模式(TEM):2 nm;微区分析模式(EDS/NBD/CBD模式):0.5 nm