1.超大型的样品室:约300×320×155mm左右,可以容纳大型的部件直接放入测试,无须切割; 微区分析:光阑自动更换 2.测定环境:大气 2.2检测器类型:半导体Si-PIN检测器。3.制冷方式:电子制冷无需液氮。4.计数方式:数字滤光片技术处理。5.X射线管:Rh靶。6.X射线管发生部:电压5~50kV,电流1~1000mA,冷却方式:风冷。7.检出元素:能够精确地检出Al、S、Cl等轻元素,其他元素Fe、Cu、Zn、Cd、Cr、Mn、Nb、P、Ti、V、Y、Zr等,成分范围包括了11Al~92U浓度范围:ppm~100%。8.分析区域配置:配备CCD相机,准确进行样品观察和定位,可以在大面积上选择观察分析区域,有利于缺陷、异物等分析。9.检测对象:薄膜、粉末、液体。10.滤光片交换器:5位初级光路滤光片 。11.膜厚测试:对于已知材料的镀层可以进行膜厚测试。12.样品测试台:具有一键开合样品盖的保护开关,配备粉末或液体样品测试所需要的样品盒。