1.有效行程:X轴≥1000mm,Y轴≥1450mm,Z轴≥1000mm,Rx转动范围±180°
2.运动速度:X轴最大运动速度≥100mm/s,Y轴最大运动速度≥100mm/s,Z轴最大 运动速度≥100mm/s
3.单轴运动精度:
(1)X轴重复定位精度≤7μm,回原点绝对定位精度≤0.01mm
(2)Y轴重复定位精度≤7μm,回原点绝对定位精度≤0.01mm
(3)Z轴重复定位精度≤7μm,回原点绝对定位精度≤0.01mm
(4)Rx轴旋转重复定位精度≤±3",绝对定位精度:±0.01°
(5)端向跳动:≤15μm,,径向跳动:≤15μm,回原点绝对定位精度:0.01mm和0.001°
4.各轴需加入光栅尺采用闭环方式进行控制,光栅尺分辨率≤1μm
5.空间复合运动精度:XYZ轴空间复合绝对定位精度≤0.1mm
6.负载大小:末端负重载荷≥10kg
7.外形要求:平台总重量≤1500kg(设计满足标准楼层实验室承重需求),XYZ方 向平台尺寸≤1400mm*2050mm*2500mm