院内自主检测200元/小时;院外自主检测300元/小时;送样检测400元/小时;
电动载物台 X 向不小于 100mm,Y 向不小于 100mm,可观察试样高度:0-200mm; 放大倍数:54倍—17000倍。 分辨率:横向分辨率为0.12μm;高度分辨率为6nm。 载物台X/Y:100*100mm Z轴最大扫描行程:10mm; 可观察试样高度:0-200mm。
该仪器能够快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量,又可测量多种微小的尺寸,如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等。通过捕获微小斜面实现粗糙表面的测量。
形貌观测、粗糙度检测、颗粒度、面积体积检测
服务咨询:024-24211361
主办单位:辽宁省科学技术厅
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