详见http://dxyq.dlpu.edu.cn/customer/index/index.html#

辨率：二次电子：0.8nm (15kV), 1.2nm (1kV)；加速电压： 0.01 - 30KV 连续可调；放大倍数：25X–1,000,000X ；放大倍数连续可调 X射线能谱仪（EDS）；有效探测面积：50mm2；分辨率：优于127eV，（Mn Ka处，计数率为50000cps）；分析元素范围：Be（4）--Cf（98）；背散射电子衍射分析仪（EBSD）；相机分辨率：1344*1024像素；角分辨率：<0.1°

扫描电镜与能谱仪结合，主要用于固体材料表面形貌观察和化学成分分析，应用范围主要包括化工、材料、生物医药、医学、轻纺、矿物、冶金、精密制造等领域。EBSD用于晶体微区取向和晶体结构的分

固体材料表面形貌观察和化学成分分析