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示例

二次离子质谱仪

  • 型号规格:ION TOF-SIMS 5
  • 仪器类别:分析仪器
  • 仪器原值:750万元
  • 所属单位:沈阳材料科院国家研究中心
  • 生产厂商:Ion-Tof GmbH
  • 产地国别:德国
  • 供货商:
  • 仪器所在地区:沈阳市
  • 仪器安放地址:沈阳市沈河区文化路72号
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仪器服务信息
  • 联 系 人:张磊
  • 联系电话:02423971551
  • 收费标准:
  • 每小时占用费:
  • 电子邮箱:
仪器共享信息
  • 设备编号:
  • 年有效机时:
  • 对外共享机时:
  • 使用状态:在用
  • 运行状态:正常
技术指标

› 一次离子枪Bi+,30keV › 飞行时间质谱分析器,低质量数(29u)质量分辨能力优于11000(FWHM),高质量数(>200u)质量分辨能力优于16000(FWHM)。 › 用于溅射的双源离子枪O2枪和Cs枪,能量250eV-2keV。 › 二次离子成像空间横向分辨率优于100nm。 › 深度剖析的纵向分辨率1nm。 › 杂质检测限为ppm量级。

主要功能

可对任何形状的固态样品实现质谱分析、深度剖析以及面分布分析。能分析包括氢、氦在内的全部元素及其同位素;能分析有机化合物,通过分子离子峰可得到准确的分子量信息,通过碎片离子峰可得到分子结构信息。

仪器简介

该设备购置于2009年,于20101月完成安装调试,至今已使用10年,目前设备状态良好,可以用于分析各种固态材料。对材料表面进行质谱分析,二维成像以及深度分析等。

   该设备自投入使用以来,已为多个研究课题组提供了技术支持。

应用范围包括薄膜材料、半导体材料、电子元件、包装材料、润滑材料、粘合剂、催化剂、接触及、表面涂层、电极传感器以及腐蚀研究等等。

主要附件

› Bi液态金属离子团簇离子源 › 电子束轰击气体离子源 › 热离化Cs离子源 › 飞行时间质量分析器 › 用于加热和冷却的快速样品托HOLDER G › CCD红外相机