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示例

磁控溅射沉积系统

  • 型号规格：MS500B
  • 仪器类别：分析仪器
  • 仪器原值：32.6万元
  • 所属单位：沈阳建筑大学
  • 生产厂商：沈阳科友真空技术有限公司
  • 产地国别：中国
  • 启用日期：2019-03-01
  • 仪器所在地区：沈阳市
  • 仪器安放地址：辽宁省沈阳市浑南区浑南东路9号
浏览量：174
仪器详情 仪器定位
仪器服务信息
  • 联 系 人：田川
  • 联系电话：15040067407
  • 电子邮箱：kjc@sjzu.edu.cn
收费标准

无

技术指标

5个磁控管

主要功能

光学镀膜表征和设计 半导体器件开发 CIGS 和高级材料研究 高端电子显微镜样品制备 质量保证 故障分析

服务内容

磁控溅射是一种高度通用的技术，用于沉积具有优异粘附性的高紧密镀膜。磁控溅射是一种物理气相沉积(PVD)涂覆技术，基于等离子体，在靶材表面附近产生磁约束等离子体。

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