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示例

磁控溅射沉积系统

  • 型号规格:MS500B
  • 仪器类别:分析仪器
  • 仪器原值:32.6万元
  • 所属单位:沈阳建筑大学
  • 生产厂商:沈阳科友真空技术有限公司
  • 产地国别:中国
  • 启用日期:2019-03-01
  • 仪器所在地区:沈阳市
  • 仪器安放地址:辽宁省沈阳市浑南区浑南东路9号
浏览量:185
仪器服务信息
  • 联 系 人:田川
  • 联系电话:15040067407
  • 电子邮箱:kjc@sjzu.edu.cn
收费标准

技术指标

5个磁控管

主要功能

光学镀膜表征和设计 半导体器件开发 CIGS 和高级材料研究 高端电子显微镜样品制备 质量保证 故障分析

服务内容

磁控溅射是一种高度通用的技术,用于沉积具有优异粘附性的高紧密镀膜。磁控溅射是一种物理气相沉积(PVD)涂覆技术,基于等离子体,在靶材表面附近产生磁约束等离子体。

服务咨询:024-24211361

主办单位:辽宁省科学技术厅 || 辽宁省重要技术创新与研发基地建设工程中心

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