3000元/项目
主载物台：晶圆尺寸 25mm（1英寸）至200mm（8英寸）；分辨率：分辨率为5 µm；平整度：≤ 10 µm；Y轴取放片行程：90 mm；手动载物台Z轴可调范围：0-10 mm（可微调）；Z方向接触/分离控制：0-3 mm（可微调）；定位器平台与载物台高度差:≥14 mm。
探针台主要用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，缩减研发时间和器件制造工艺的成本，具备完整的直流测试功能，后续可扩展为射频，光电以及可靠性测试。
服务咨询：024-24211361
主办单位：辽宁省科学技术厅
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