3000元/项目

1. 8寸卡盘，平整度3um，可用于测试8寸以下晶圆和芯片。 2. 卡盘台X/Y方向的行程：180mm×240mm，精度10um。 3. 体式显微镜变焦范围为0.8-5倍，总放大倍率为14倍至100倍。 4. 体式显微镜带外接CCD接口和0.4X C-mount，最小分辨率小于2um。 5. 探针台可适配DC至110GHz的探针。

自动探针测试台用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。主要用于CMOS片上电路测量、微加工器件电参数测试以及其他小样品的近场信号测试。

自动探针测试台用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。主要用于CMOS片上电路测量、微加工器件电参数测试以及其他小样品的近场信号测试。