1、标准配置
载荷分辨率:50nN
最大压痕或划痕载荷:500mN
位移分辨率:0.01nm
最大压痕或划痕深度:500μm
仪器框架刚度:5x106N/m
压头更换所需时间: 60s
2、连续刚度测量
简谐力频率: 1~300 Hz
简谐力振幅: 0.1 uN~4.5 Mn
3、纳米力学显微镜
X & Y 扫描范围: 100μm
X & Y 分辨率: 2nm
Z 扫描范围: 500μm (for XP head); 15μm (for DCM head)
Z 方向分辨率:0.01nm
X,Y&Z 三个方向均有位移传感器和闭环控制(反馈电路控制)