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示例

台阶仪

  • 型号规格:P7
  • 仪器类别:分析仪器
  • 仪器原值:50万元
  • 所属单位:沈阳材料科院国家研究中心
  • 生产厂商:KLA-Tencor公司
  • 产地国别:美国
  • 供货商:
  • 仪器所在地区:沈阳市
  • 仪器安放地址:沈阳市沈河区文化路72号
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仪器服务信息
  • 联 系 人:张磊
  • 联系电话:02423971551
  • 收费标准:
  • 每小时占用费:
  • 电子邮箱:
仪器共享信息
  • 设备编号:
  • 年有效机时:
  • 对外共享机时:
  • 使用状态:在用
  • 运行状态:正常
技术指标

› 探针半径:2.0 μm(60度倾角) › 探针压力:0.5-50 mg › 单线最大扫描长度:150 mm › 垂直测量范围:0-327 μm › 最高分辨率:0.01 A › 测量重复性:4 Å (在1 um厚的标样上) › 最慢扫描速度:2 μm / sec › 最快扫描速度:25 mm / sec › 单线测量采样点可达400万个 › 视场大小:2100 x 1700 μm › 单视场光学系统(俯视)

主要功能

适用于测量薄膜、厚膜不同区域高度、蚀刻沟槽深度、表面粗糙度与波纹度的材料特征、表面曲度与外形、薄膜的二维应力、不同表面的三维成像、平度或曲率、缺陷检查与缺陷分析等。

仪器简介

台阶仪简称为激光反射悬臂梁;当探针在样品上进行扫描时,由于样品的高低不平变化会导致悬臂梁的不同程度的倾斜,这样激光反射在悬臂梁上的信号到探测器上就有不同的变化,光电池就可以根据光信号的不同进行数字输出得到高低轮廓和膜厚。

 

主要附件