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"对应超轻元素的X射线光管 采用4kW、30um薄窗X射线光管，可高灵敏度测试超轻元素。 采用新型光学系统 采用新型分光晶体，与第二代仪器分光晶体相比，大幅度提高了灵敏度。 48样品交换器 实现平台式共享化，最多可放置48个样品。多样品交换器实现了省空间。 1次X射线滤光片 除去X射线光管的特征X射线光谱，在减低背景干扰方面发挥威力。 双泵、双真空系统 采用双真空系统(样品室/预抽真空室)。防止粉末样品的细微粉尘混入光学系统的结构设计，样品交换实现更高效率。 粉末附件 电磁阀真空密封、防止细微粉尘进入真空泵内。 定点分析 100um的Mapping分辨率。可在CCD图像上指定点、区域、线。定点最小直径500um。 采用r-0样品台，避免1次X射线的照射面、以及分光晶体的反射强度的干扰，可得到最佳灵敏度分析结果。(无r-0样品台)节能、节省空间"

元素分析：能够准确测定各种材料中元素的含量，适用于分析从铍(Be)到铀(U)的各种元素，浓度范围从100%到低至亚ppm级

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