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示例

光谱椭偏仪

  • 型号规格:SE-VM-L
  • 仪器类别:分析仪器
  • 仪器原值:30.95万元
  • 所属单位:国家机器人创新中心
  • 生产厂商:武汉颐光
  • 产地国别:中国
  • 启用日期:2022-06-14
  • 仪器所在地区:哈尔滨市
  • 仪器安放地址:沈阳市浑南新区创新路135号
浏览量:263
仪器服务信息
  • 联 系 人:程家鑫
  • 联系电话:024-23970354
  • 电子邮箱:chengjiaxin@niir.com.cn
收费标准

面议

技术指标

1.测量能力:一次性获得全穆勒矩阵16个元素(ml1归一化,8组rpp,rss主对角偏振元素,8组rsp,rps辅对角偏振元素)、偏振态Psi/Delta(其中Delta值域:-90-270°,360度无死角)、反射率/透射率、退偏指数等光谱 2.光谱范围:380-1000nm覆盖可见到近红外波段,无光纤外接设计,光谱间隔优于0.8nm3.测量时间:单点测量不超过15秒 4.光斑尺寸:大光斑模式2-4mm,微光斑模式200μm 5.可视化调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平 6.调制技术:超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术 7.光强调节方式:针对不同样件自动适应调制采集光强积分时间8.入射角范围:45-90°(5度步进) 9.样品台:支持Z向,俯仰可调,支持样件尺寸到φ200mm,支持样件真空吸附固定 10.重复性测量精度:优于0.005nm(100nmSiO2硅片,30次重复测量)等...

主要功能

1.可测量多种薄膜材料的厚度、光学常数、表面粗糙度、界面层等参数,如电介质、半导体、有机物等薄膜的相关参数 2.通过测量宽光谱内不同波长光束经过样品反射的偏振态变化,精确获得从深紫外到近红外的宽光谱材料光学特性,能分析带粗糙表面和未知材料组份的多层复杂薄膜结构

服务内容

1.为科研机构和企业的材料研究、薄膜研发等提供高精度的测量数据,助力新型材料的开发与性能优化 2.在工业生产中,如光伏、半导体等领域,对产品的薄膜质量进行快速、准确的检测与监控,确保产品质量和性能的一致性

服务咨询:024-24211361

主办单位:辽宁省科学技术厅

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