1.测量能力:一次性获得全穆勒矩阵16个元素(ml1归一化,8组rpp,rss主对角偏振元素,8组rsp,rps辅对角偏振元素)、偏振态Psi/Delta(其中Delta值域:-90-270°,360度无死角)、反射率/透射率、退偏指数等光谱
2.光谱范围:380-1000nm覆盖可见到近红外波段,无光纤外接设计,光谱间隔优于0.8nm3.测量时间:单点测量不超过15秒
4.光斑尺寸:大光斑模式2-4mm,微光斑模式200μm
5.可视化调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平
6.调制技术:超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术
7.光强调节方式:针对不同样件自动适应调制采集光强积分时间8.入射角范围:45-90°(5度步进)
9.样品台:支持Z向,俯仰可调,支持样件尺寸到φ200mm,支持样件真空吸附固定
10.重复性测量精度:优于0.005nm(100nmSiO2硅片,30次重复测量)等...